Quality is life, service is the tenet
更新時(shí)間: 2024-04-23
產(chǎn)品型號(hào): LFT1400C 300D602ZLV CVD
所 在 地: 合肥市新站區(qū)穎河路22號(hào)
產(chǎn)品特點(diǎn): 薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結(jié)、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。該設(shè)備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠,溫場(chǎng)均勻,結(jié)構(gòu)合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡(jiǎn)便快捷,是各大材料實(shí)驗(yàn)室的理想設(shè)備之一。
一、設(shè)備特點(diǎn):
薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結(jié)、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。該設(shè)備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠,溫場(chǎng)均勻,結(jié)構(gòu)合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡(jiǎn)便快捷,是各大材料實(shí)驗(yàn)室的理想設(shè)備之一。
1、保溫材料采用真空吸附成型的純氧化鋁纖維無(wú)機(jī)材料,不含污物,潔凈,美觀。
2、采用模糊PID控制精準(zhǔn)控制,溫場(chǎng)均勻,燒結(jié)成品一致性好。
3、爐體采用雙層風(fēng)冷機(jī)構(gòu),爐子燒到最高溫度時(shí),殼體表面溫度低于60度。
4、爐膛材料:高純氧化鋁多晶純纖維,不參氧化鋁粉,潔凈節(jié)能。
二、技術(shù)參數(shù):
名稱 | 規(guī)格 | 單溫區(qū)真空管式爐CVD系統(tǒng) |
單溫區(qū)真空管式爐 | 爐管尺寸 | Φ60×1000mm 更多其他規(guī)格剛玉管可選(Φ50/60/80/100mm等) |
主要參數(shù) | 最高溫度: 1400℃ 工作溫度: 1300℃ 推薦升溫速率:≤10℃/min 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 300mm 額定功率:4KW 電壓:?jiǎn)蜗郃C 208 - 240V, 50Hz | |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C 高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節(jié)約能源 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長(zhǎng)爐子的使用壽命 | |
溫控系統(tǒng) | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能 智能化30段可編程控制 具有超溫及斷偶報(bào)警功能 控溫精度: ±1 ℃ S型熱電偶 可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集(需另購(gòu)) | |
溫控儀表(可選) | 標(biāo)配儀表品牌為宇電,可選定其他品牌溫控儀表,如島電等。 | |
管堵 | 多種規(guī)格管堵,防止來自內(nèi)部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須放入爐腔。 | |
密封系統(tǒng) | 爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭) 如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(jì)(需另外訂購(gòu)) 備注:本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進(jìn)氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。 出氣端預(yù)留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數(shù)顯真空計(jì),以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣 | |
擴(kuò)展端口 | 如進(jìn)氣管道為橡膠軟管,則需將進(jìn)氣口更換成Φ9氣嘴接頭 | |
真空度 | 雙極旋片機(jī)械泵:10^-1Pa 分子泵機(jī)組:10^-3 Pa 可選配本公司配套高低真空 | |
二路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) MFC-2Z | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質(zhì) | 316不銹鋼 | |
量程 | 50sccm、100sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇) | |
工作溫度 | 5~45℃ | |
外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 750(H) mm | |
電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
功率 | 23W | |
真空系統(tǒng) LVU-10 | 殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
最大承載量 | 1000 Lbs | |
抽氣速率 | 10m³/h 極限真空度:10-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接 | |
質(zhì)保期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 | |
相關(guān)應(yīng)用 | 爐膛內(nèi)襯可以單獨(dú)更換(額外付費(fèi)) 可以根據(jù)要求設(shè)計(jì)成帶有滑動(dòng)法蘭的爐子 | |
應(yīng)用注意事項(xiàng) | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |