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薄膜材料制備

更新時(shí)間:  2024-04-23

產(chǎn)品型號(hào):  LFT1400C 300D602ZLV CVD

產(chǎn)品報(bào)價(jià):  

所  在  地:  合肥市新站區(qū)穎河路22號(hào)

產(chǎn)品特點(diǎn):  薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結(jié)、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。該設(shè)備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠,溫場(chǎng)均勻,結(jié)構(gòu)合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡(jiǎn)便快捷,是各大材料實(shí)驗(yàn)室的理想設(shè)備之一。

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產(chǎn)品概述

一、設(shè)備特點(diǎn):

薄膜材料制備廣泛用于:真空或氣氛燒結(jié)、基片鍍膜等要求加熱溫度較高的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。該設(shè)備技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠,溫場(chǎng)均勻,結(jié)構(gòu)合理,法蘭以卡箍密封,安裝拆卸簡(jiǎn)便快捷,是各大材料實(shí)驗(yàn)室的理想設(shè)備之一。

1、保溫材料采用真空吸附成型的純氧化鋁纖維無(wú)機(jī)材料,不含污物,潔凈,美觀。

2、采用模糊PID控制精準(zhǔn)控制,溫場(chǎng)均勻,燒結(jié)成品一致性好。

3、爐體采用雙層風(fēng)冷機(jī)構(gòu),爐子燒到最高溫度時(shí),殼體表面溫度低于60度。

4、爐膛材料:高純氧化鋁多晶純纖維,不參氧化鋁粉,潔凈節(jié)能。

二、技術(shù)參數(shù):

名稱

規(guī)格

單溫區(qū)真空管式爐CVD系統(tǒng)  

單溫區(qū)真空管式爐

爐管尺寸

Φ60×1000mm 更多其他規(guī)格剛玉管可選(Φ50/60/80/100mm等)

主要參數(shù)

最高溫度: 1400℃

工作溫度: 1300℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

加熱區(qū)長(zhǎng)度: 300mm

額定功率:4KW

電壓:?jiǎn)蜗郃C 208 - 240V, 50Hz

爐體結(jié)構(gòu)

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,最大限度節(jié)約能源

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長(zhǎng)爐子的使用壽命

溫控系統(tǒng)

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能

智能化30段可編程控制

具有超溫及斷偶報(bào)警功能

控溫精度: ±1 ℃

S型熱電偶

可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集(需另購(gòu))

 

溫控儀表(可選)

標(biāo)配儀表品牌為宇電,可選定其他品牌溫控儀表,如島電等。

管堵

多種規(guī)格管堵,防止來自內(nèi)部管子的熱輻射,管堵在加熱前必須放入爐腔。

密封系統(tǒng)

爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。(包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭)

如需獲得較高的真空度,建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計(jì)(需另外訂購(gòu))

備注:本公司標(biāo)配法規(guī)格如下進(jìn)氣端Φ6卡套接口,可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。

出氣端預(yù)留KF25接口,方便連接真空泵,KF16接口,方便連接數(shù)顯真空計(jì),以及Φ9氣嘴接頭,以便出氣

擴(kuò)展端口

如進(jìn)氣管道為橡膠軟管,則需將進(jìn)氣口更換成Φ9氣嘴接頭

真空度

雙極旋片機(jī)械泵:10^-1Pa

分子泵機(jī)組:10^-3 Pa

可選配本公司配套高低真空

二路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

MFC-2Z

電壓

220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質(zhì)

316不銹鋼

量程

50sccm、100sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇)

工作溫度

5~45℃

外型尺寸

600(L) x 600(W) x 750(H) mm

電壓

AC220V/50Hz單相

功率

23W

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm

最大承載量

1000 Lbs

抽氣速率

10m³/h

極限真空度:10-1Pa

雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

相關(guān)應(yīng)用

爐膛內(nèi)襯可以單獨(dú)更換(額外付費(fèi))

可以根據(jù)要求設(shè)計(jì)成帶有滑動(dòng)法蘭的爐子

應(yīng)用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


 

 

 

 

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